納米壓痕技術又稱深度敏感壓痕技術，它是通過計算機控制載荷連續變化，井在線監測壓深量，由于施加的是超低載荷，加上監測傳感器具有優于1nm的位移分辨率，所以可以獲得小到納米級(1nm-100nm)的壓深，適用于超薄層材料性能的測試。納米壓痕技術可以有效的測試薄膜機械性能，它可以直接測試納微米級薄膜的力學性能，包括聚合物薄膜的測試通過施加一定的負載力(設定的壓痕位移)對材料進行壓痕，通過分析力一位移曲線來獲得材料的力學性能(彈性模量、硬度等)。

一般來說，卸載部分力一位移曲線(應用負載一浸入深度曲線)應該僅僅顯示材料的彈性行為。在彈性理論限制條件下，Sneddon對于剛性體材料浸入彈性材料內部建議了一種方法，即通過樣品的幾何形狀來表征。Oliver和Phar使用來源于Sneddon的方程去建立方程以便估計樣品的楊氏模量和硬度，通過納米壓痕載荷位移曲線，可以有效的分析材料在壓入過程中的彈塑性變形情況以及計算壓入過后材料表面的殘余應力。