采用非平衡磁控濺射離子鍍技術在M2工具鋼和單晶Si表面沉積多元CrMoAlN納米多層薄膜，利用EDS,SEM,XRD,XPS,納米壓痕儀和銷盤磨損試驗儀研究Mo含量對CrMoAlN薄膜成分、表面和截面形貌、相結構、化學價態(tài)、顯微硬度和摩擦性能的影響。

結果表明,不同Mo含量的CrMoAlN薄膜均為fcc結構,Mo代替了CrAlN晶格中部分Cr或Al的位置,形成了以fcc-CrN相為基礎的CrMoAlN置換固溶體。隨著Mo含量提高,CrMoAlN薄膜表面顆粒尺寸明顯減小,截面柱狀晶結構逐漸消失.CrMoAlN薄膜的顯微硬度和彈性模量隨著Mo含量的增加而提高,摩擦系數和磨損率隨著Mo含量的提高而降低.Mo含量為19.47%(原子分數)時,顯微硬度與彈性模量均達到最大值29.70和427.53GPa,摩擦系數和磨損率達到最小值0.271和1.2×10-16m3/(Nm)。