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中階梯光柵鋁膜的納米壓入測試

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對槽線密度為79線·mm-1的中階梯光柵鋁膜進行了深度3um的納米壓痕試驗，并采用有限元模擬結合正交分析的方法對其進行計算和分析，得到初步優化的參數組合，最后通過迭代優化求解最優組合。

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