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襯底偏壓對摻鉻類石墨碳膜組織、性能及碳鍵結構的影響（上）

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采用非平衡磁控濺射離子鍍技術在不同襯底偏壓下沉積了摻鉻類石墨非晶碳膜，研究了襯底偏壓對其顯微組織、硬度、內應力、結合強度和碳鍵

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