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24對棒多晶硅還原爐的輻射傳熱數值模擬

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在還原爐中制備多晶硅需要密閉且高溫的環境，用傳統檢測方法獲得爐內溫度場分布比較困難。本文基于FLUENT仿真計算平臺，對硅棒生長至50、100、150mm時的24對棒多晶硅還原爐的輻射傳熱進行三維…

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