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采用原位反應法在石墨坩堝表面制備SiC涂層

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通過原位反應在石墨坩堝切片表面成功制備了SiC涂層,并對其進行了循環熱氧化試驗,研究了SiC涂層的形成機理以及燒結溫度和時間對涂層厚度的影響

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