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低溫沉積銀和銀銅薄膜的耐原子氧性能

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采用多弧離子鍍方法在低溫(173K)下沉積了銀和銀銅薄膜,通過地面原子氧模擬試驗系統考察了薄膜的耐原子氧性能,通過X涉嫌衍射儀(XRD)和原子力顯微鏡

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