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反應磁控濺射方法制備CNχ薄膜的高溫抗氧化性能

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采用反應磁控濺射方法在高速鋼基體上制備了CNχ薄膜，通過改變氮氣和氬氣的流量比來調整CNχ薄膜中的氮含量，并采用XRD、HR-TEM、SEM、FTIR和顯微硬度計等對薄膜的結構及其在300，400,500,60…

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