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MAIP鍍TiN薄膜結構形貌的研究

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本文采用多弧離子鍍膜（MAIP）技術在高速鋼基片表面鍍TiN后，用XRD和SEM對膜層組織結構、形貌進行了分析。 結果顯示，在高速鋼基片表面的為TiN薄膜，該TiN膜致密，但在薄膜表面有少量白色…

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