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氣相沉積TiAIN薄膜及其性能分析
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利用非平衡磁控濺射離子鍍設備,在軸承鋼和硬質合金表面沉積TiAlN薄膜,并對薄膜結構和主要性能進行了分析。所鍍薄膜厚度可超過3μm,薄膜的生長比較好,形成了細化的柱狀晶粒。經斷口掃描分…
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