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Si(111)和Si(110)襯底上AIN薄膜的激光分子束外延生長特征

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采用激光分子束外延技術在Si(111)和Si(100)襯底上制備了ALN薄膜,研究了襯底溫度和激光能量對薄膜物相結構和形貌的影響。

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