等離子體氮化與物理氣相沉積復(fù)合處理的研究進(jìn)展

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簡要綜述了等離子體氮化及物理氣相沉積復(fù)合處理的新進(jìn)展，主要介紹了復(fù)合處理的工藝進(jìn)展，復(fù)合處理鍍層的組織結(jié)構(gòu)、膜/基結(jié)合力、耐磨性和耐腐蝕性，并對復(fù)合處理的應(yīng)用前景進(jìn)行了展望。

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