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TiAlN基薄膜的研究進展

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綜述了TiAIN納米多層膜、TiAIN納米復合薄膜的研究進展，主要介紹了3種薄膜的硬度、摩擦磨損等性能，并對影響其性能的因素進行了分析，提出了薄膜制備所存在的問題，最后對其今后的發展做了展…

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關鍵字：TiAlN 基 薄膜
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