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熱處理溫度和濺射氣壓對(duì)銅薄膜結(jié)構(gòu)和性能影響的研究

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采用射頻磁控濺射鍍膜法，在不同濺射氣壓、不同熱處理溫度下制備了銅薄膜，并利用掃描電鏡和X射線衍射研究了濺射氣壓和熱處理對(duì)銅薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響。

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