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活性屏等離子體源滲氮技術原理及應用

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活性屏等離子體源滲氮技術是一種先進的滲氮技術，消除了常規直流等離子體滲氮技術的固有缺陷，且可處理聚合物材料

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關鍵字：活性 等離子體 技術
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