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低溫熱處理對Graphit-iC類石墨碳膜組織結構及耐磨性的影響

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應用拉曼光譜等測試方法分析了不同熱處理溫度對PVD技術制備的Graphit-iC類石墨碳膜涂層的組織結構，顯微硬度、結合強度和磨損率的影響規律。

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關鍵字：低溫 熱處理 Graphit-iC
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