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磁控濺射法ZnO-TiO2復合薄膜的制備及性能

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采用雙靶共濺射的方法在FJL600EI型超高真空多功能磁控濺射儀上制備不同復合量的ZnO-TiO2復合薄膜，對不同工藝參數制備的ZnO-TiO2復合薄膜進行形貌結構分析、光催化性測定和親水性檢測。

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關鍵字：濺射 ZnO-TiO2 復合
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