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小角X射線衍射技術(shù)在TiAlN涂層中的應(yīng)用

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主要采用常規(guī)X射線衍射法（XRD）和小角X射線衍射法對微米級厚度的Ti0.5Al0.5N涂層分別進行了物相檢測、晶格常數(shù)計算和殘余應(yīng)力測定，并對測量結(jié)果進行了比較。

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