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含硅類金剛石膜硬度壓痕測試的有限元模擬

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使用Abaqus有限元軟件通過加載荷與加載位移兩種方法對含硅類金剛石進(jìn)行了壓痕測試模擬，得到了不同硅含量類金剛石膜的硬度曲線。

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