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真空元件流阻對射流式真空發生器流量特性的影響研究

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射流式真空發生器抽吸側通常安裝有真空檢測元件等，以實現自動吸收、實時檢測等功能。但是真空檢測元件和控制元件等氣動真空元件的流阻會導致其力量特性發生改變

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