晶體行為對SUS304鋼表面濺射蝕刻圓錐狀碳化物生成的影響

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張清廉1,2 , 王榮光2 ,中佐啓治郎2 ,加藤昌彥2 (1. 寶山鋼鐵股份有限公司,中國　上海　201900; 2. 廣島大學, 日本　廣島　739 - 8527) 　　摘要:研究用射頻磁控濺射設備對SUS304…

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關鍵字：晶體 行為

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