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硅基底上噴射電沉積銅/鈷多層膜的結合力

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在硅基底上利用噴射電沉積法制備銅/鈷多層膜和單層純銅膜,研究了多層膜的形貌、多層膜和單層銅膜與基體的結合力以及劃痕方向對膜基結合力的影響。結果表明:對硅基底進行拋光處理可使膜基結…

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