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靶基間距對電弧離子鍍中大顆粒形貌和分布的影響

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利用電弧離子鍍方法在基體上制備了TiN薄膜，研究了靶間距對大顆粒形貌和分布規律的影響。采用掃描電子顯微鏡（SEM）觀察了TiN薄膜的表面形貌，利用

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