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新型化學氣相沉積爐的爐襯

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我國在C/C復合材料領域的化學氣相沉積電阻爐存在諸多問題,其中在爐襯、電熱元件的安裝和炭源氣體在加熱爐內漏氣等存在許多隱患。

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