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精確可控氣氛滲氮系統(tǒng)的改進(jìn)

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介紹了用比例閥和轉(zhuǎn)子流量計(jì)代替質(zhì)量流量控制器對(duì)精確可控氣氛滲氮系統(tǒng)工藝氣體流量測(cè)量和控制方法，闡述了該方法實(shí)際的應(yīng)用效果。

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